1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)
文 献 综 述摘要近年来,微电子工业迅猛发展,推动了洁净室与洁净空调的发展,同时也对洁净室的设计提出了更高的要求。
随着电子芯片生产工艺的不断进步,对生产环境及其它配套设施的要求也越来越严格,尤其是8寸、12寸芯片的生产对洁净度、温湿度和空气中分子级污染物提出了很高的要求。
根据《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)中有关电子工业厂房空气净化和空调通风设计的内容,本项目完全遵守其中的强制性条文,并在一定情况下满足一般性条文的要求。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
一、本课题要研究或解决的问题本课题为杭州市红旗生产厂房净化空调系统设计,是在建筑平面图的基础上根据甲方的要求,满足舒适度以及洁净度的要求,并结合相关电子工业洁净厂房设计规范要求,进行空调系统设计。
与此同时还要兼顾空调系统的节能设计,使用节能设备和装置,降低系统能耗。
二、采用的研究手段通过调查相关洁净空调系统、洁净室设计和电子工业洁净厂房设计要求等规范、文献和资料,从而全面地熟悉电子工业洁净厂房要求和洁净室设计标准。
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