1. 研究目的与意义
1.1 研究背景金属有机化学气相淀积（Metal-organic Chemical Vapor Deposition简称MOCVD)是在气象外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气象外延生长技术。MOCVD的技术核心是利用载气将III 族金属有机化合物和V族元素的氢化物运输到被加热的高温衬底片上，在高温条件下金属有机化合物和氢化物会进行分解并发生化学反应，反应后的生成物沉积在衬底片上形成外延薄膜。原位监控可以提供生长过程的详细信息，有助于工艺条件的优化，因此需要搭建一套原位监控测量系统。
1.2 研究目的搭建一套MOCVD原位监测系统，实现样品的实时反射信号采集，并根据反射信号的周期性变化计算薄膜厚度。
1.3 研究意义
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2. 研究内容与预期目标
2.1研究内容
1、了解在线监测膜厚仪在GaN材料外延中的应用
2、了解MOCVD系统的设备结构与功能，GaN材料的生长原理，熟悉生长工艺流程。 3、研究在线膜厚监测仪的工作原理，完成电路设计，实现在线膜厚监测仪与MOCVD系统的通讯。在MOCVD上安装并调试在线膜厚监测仪，并进行静态调试
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3. 研究方法与步骤
3.1研究方法
1、查阅相关资料，了解MOCVD设备、在线膜厚监测仪等背景知识。
2、组装膜厚测试系统，并设计电路系统调试光路系统。
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4. 参考文献
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5. 工作计划
3.1--3.15课题调研，了解相关技术和要求；
3.16--3.29查阅资料，撰写并提交开题报告；
3.30--5.3 实验分析，数据整理，完成论文初稿；
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